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资料来源：ASML ASMER光刻
随着芯片制造工艺的不断缩小，光刻机在过去的几十年里也取得了飞跃的发展。
现在正在被台积电等先进工厂采用的EUV光刻记，更是成为了大家关照的焦点。究竟光刻机是怎么工作的？我们来看一下ASML的科普。而要了解其原理，首先从了解其外面的保护壳开始。视频来源：Cymer官方网站
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