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1、微米技术用于定义物理特征尺寸接近1m(10-6m)的系统。
2、20世纪60年代末,研究人员实现了机械装置的小型化和批量生产。
3、这项技术给机械领域带来了进步,就像集成电路技术给电子领域带来了进步一样。
4、微技术,也称为微机电系统(MEMS),始于1969年由西屋公司设计的谐振栅极场效应晶体管。
5、在接下来的十年中,一些制造商开始使用体硅蚀刻技术来生产压力传感器。
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