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arf浸没式光刻机售价

大约6亿元左右。浸入式DUV光刻机是目前使用最广泛的光刻机,因为采用193纳米的ArF光源,通常将浸入式光刻机称作Arf浸没式光刻机。DUV光刻机的市场最高售价则是在6亿左右,比euv光刻机便宜了40%。虽然同样是arf浸没式光刻机,但在分辨率精度上会有不同,比如28纳米的、65纳米的、90纳米的等等,所以售价也有区别,arf浸没式光刻机大致为4到6亿元。

责任编辑: 鲁达

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