鲁达 同花顺（300033）金融研究中心6月17日讯，有投资者向派瑞股份（300831）提问， 请问贵公司的晶闸管和电力半导体器件制造需要什么级别的光刻机？是自己IDM模式生产，还是找中芯国际，还是其他什么制程公司代工？会受中美科技贸易战的影响么？
公司回答表示，作为半导体产品生产企业，我公司产品生产过程必然有光刻工艺，同样要使用到光刻机。对于大规模或超大规模集成电路生产厂商，使用的光刻机由于集成度越来越高，目前世界先进水平在14nm或7nm精度指标，才能满足目前的集成度和功耗要求。这类产品具有三个特点：工作电压低（只有几伏）；高集成度（一个晶圆上产出成千上万个芯片）；功耗极低（芯片一般用作信号处理或者数字运算）。而我公司产品为功率半导体器件，其特点是：工作电压高，我们最高单只器件的工作电压9000V；工作电流大，一般在千安级水平且一个晶圆上产出一只或几个芯片，使用场合是大功率的工业控制过程。例如我们的器件组成的特高压直流输电变流阀，需要完成800万千瓦的电能变流并完成跨越千公里的电能输送。我们制造的半导体器件，技术上突破的是针对高电压大电流情况下可靠运行而特有的一系列技术工艺，是功率半导体的技术范围。对于这样的功率半导体器件，光刻机精度要求没有集成电路要求的那样高，一般在微米级。这个级别的光刻机国内就能够生产，而且完全能够满足工艺要求。我们目前使用的光刻机进口和国内生产的都有。感谢您的关注。