luda <电子发烧友>编辑部对工程师特别关注的创新热点产品做了一系列的深度整理与分析。本次主要是针对MEMS力学传感器主要厂商及产品进行了整理。
MEMS是多学科交叉的复杂系统，其产业链类似于传统半导体产业，整个产业链涉及设计、制造、封装测试、软件及应用方案环节。MEMS传感器的应用已渗透进各行各业，如工业自动化、航天技术、军事工程、资源开发、环境监测、医疗诊断、交通运输等。
2018 年，全球MEMS传感器市场规模约为146亿美元，同比增长10.8%，消费电子、汽车电子和工业控制是应用MEMS最多的三个下游板块，其中智能终端的需求是近年最大的增长点。Yole Development 预测，2018-2022年MEMS传感器全球市场规模年化增速预计将达14.85%。
我国MEMS 产业仍处于追赶阶段，目前进口率在60%以上，具有广阔的国产替代空间。根据赛迪顾问统计，2018年，我国MEMS 传感器行业规模523 亿元，同比增长19.5%，预计2018-2020 年年化增速为17.41%
此外，MEMS传感器种类繁多，可按不同方式进行分类，常见的一种是将其分为温度传感器、声学传感器、光学传感器、压力传感器，下图是一种更为详细的划分方式，电子发烧友后续将会对各类MEMS传感器进行整理。
本周主要对MEMS力学传感器主要厂商及产品型号做了梳理，以下是具体内容。
TDK-应美盛
MPU-6500
MPU-6500是该公司的第二代6轴Motion Tracking设备，适用于智能手机，平板电脑，可穿戴传感器和其他消费市场。MPU-6500采用3x3x0.9mmQFN封装，是世界上最小的6轴Motion Tracking器件，并结合了最新的TDK Invensense设计创新，适用于MEMS陀螺仪和加速度计，可显着减小芯片尺寸和功耗，同时时间改善性能和成本。新型MPU-6500满足了高性能应用的市场需求，例如行人导航，上下文感知广告和其他基于位置的服务，并支持新兴的可穿戴传感器应用的规范，例如远程健康监测，运动和健身跟踪，以及其他消费者应用程序。
ANALOG DEVICES
1、ADXL345BCCZ
ADXL345是一个轻巧、薄型、超低功率的3轴加速度器,具有高分辨率(13位)，测量高达±16g的特性，数字输出数据格式为16位二进制补码,可通过SPI(3或4线)或者I2C数字接口访问。ADXL345非常适合移动设备应用，它可用于测量倾斜感应应用中的重力静态加速度,以及由运动或冲击产生的静态加速度，它的高分辨率)使其可测量小于1.0°的倾角变化.
2、ADXL3596/7
数字输出ADXL357是低噪声密度、低功耗的3轴加速度计， ADXL356/ADXL357提供业界领先的低噪声，有着随温度变化而失调漂移最小，此外其具有长期稳定性，从而使校准精度小的应用成为可能。
低漂移，低噪声和低功耗ADXL357能够在振动较大的环境（例如机载IMU）中进行准确的倾斜测量。ADXL356在较高频率范围内的低噪声非常适合无线状态监测。
意法半导体
1、LIS2DH12TR
LIS2DH12TR具有测量高达±400g加速度的特性，电源电压范围在1.71到3.6V。具有低功耗模式、自动唤醒功能和FIFO缓冲器，可用于存储数据，从而减少主机处理器负载和系统功耗。
2、LIS3DH
LIS3DH是一个超低功率的高性能3轴线性加速度器,属"nano"系列,带数字I2C/SPI串行接口标准输出。此设备具有超低功率运行模式,有着先进的省电和智能内嵌功能，可由两个独立的惯性唤醒以及由设备自身位置配置以生成中断信号。中断发电器的阈值和计时可由飞行的终端用户编程。LIS3DH有一个集成的32级先进先出(FIFO)缓冲,允许用户存储数据，用于减少对主控处理器的干预.
3、L3GD20
MEMS运动传感器三轴数字输出陀螺仪，连接STMicroelectronics的L3GD20陀螺仪用来测量设备的角速度。该器件的最大电压为3.6V，温度范围为-40°C至85°C。
博世
SMA130
博世新推出的SMA130三轴加速度传感器为汽车信息娱乐系统与车载信息服务系统应用提供信息。SMA130的尺寸仅为2x2毫米，非常易于安装。尽管尺寸非常小，但该传感器具有从±2g~±16g测量范围与14位高分辨率。极小的尺寸结合如此高分辨率意味着对传感器的电路设计提出了巨大挑战。但是，SMA130工作电流仅130uA，十分节能。5种自定义节能模式能够将功耗降低至1uA。比如，当停车时间较长时，此低能耗水平成为了应用于防盗系统的关键条件，从而避免传感器为电瓶造成过多的负担。在不到2ms的时间内即可启用某种模式。这样保证了各应用能快速地接收来自传感器输出的对应的可靠信息。
恩智浦
MMA8652FCR1
NXP Semiconductors MEMS加速表具有3轴（X、Y、Z），用于检测由坠落、倾斜、运动、定位、冲击和振动导致的力度变化。具有快速响应时间、高灵敏度、低电耗、低电压操作的特点。
美新
IMU380ZA-200
IMU380ZA采用小型24 x 37 x 9.5 mm模块：并为此类设备设置了新标准，偏置不稳定性<10度/小时，角度随机游走(ARW)<0.75 ，完全校准的性能超过-40至+ 85℃温度范围，低功耗<250mw，以及spi和uart通信，可与客户的系统电子设备紧密集成。
敏芯
MSA300
MSA300是苏州敏芯微电子技术股份有限公司出品的一款超低成本超小封装的三轴数字加速计, MSA330芯片传感器采用中芯国际CMOS集成MEMS器件制造技术和基于硅片通孔（TSV）的晶圆级封装（WLP）技术，将三轴加速度传感器与CMOS ASIC垂直整合，形成一个独立的的单芯片系统封装。
旭化成微电子
AK 09940
传统的三轴磁传感器已被用于位置跟踪应用，然而，在某些情况下，由于磁场噪声，无法获得足够的性能。AK 09940超低噪声三轴传感解决了这一问题，提高了AR和VR的磁位置跟踪精度。AK 09940适用于磁粉检测和金属污染三轴测量，测量湿场、微小变化和磁场畸变，具有较高的精度。此外，AK 09940具有非常低的功耗电流，适用于小型电池可穿戴和物联网器件的三轴测量。
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