鲁达 1.沈阳拓晶科技有限公司是目前国内唯一能够开发和制造大规模集成电路生产线用全自动PECVD设备的供应商，拥有世界各地薄膜设备设计和工艺研发的顶尖海外技术专家团队。在国家02专业中负责“90-65纳米等离子体增强化学气相沉积设备开发与应用”(12英寸PECVD设备)项目。开发了4-12英寸PECVD系列产品，通过了美国国家环境平衡局NEBB认证，是最高水平的现代化研发ampd开发生产环境、国际一流芯片测试实验室、特种工艺生产线，年生产能力20台(套)PECVD。
公司开发的4-6英寸及8英寸PECVD设备被国家科技部评为2011年度国家重点新产品，2-12英寸单腔系列PECVD设备可广泛应用在科研及LED生产上。12英寸全自动PECVD设备是“十一五”国家02专项研发成果，是敢与世界一流半导体设备一较长短的国际先进设备；公司拥有完全的自主知识产权，技术水平已经达到国际先进IC产业主流技术的水平，今年3月，公司生产的首台生产型12英寸PECVD设备一次性通过中芯国际的在线拷机认证，设备性能和技术水平均达到和超过国际同类产品水平。2013年，实现产值1416万元，营业收入1235万元。2、沈阳芯源微电子设备有限公司是国内知名的专业半导体装备企业，公司的主导产品匀胶显影设备是集成电路制造中的关键工艺设备。历经十年的开拓与创新，企业在消化引进国外先进技术基础上，开发出四大TRACK系列产品，取得180多项技术专利。通过承担国家02重大专项任务，自主研制完成的12英寸喷/涂胶机、显影机、刻蚀机，填补了国内此项高端产品的空白，缩短了与国际先进技术的差距，与进口同类产品相比具有性价比优势、首台套产品取得了大生产线厂商认证和采购应用。公司的国产设备，产品价格仅是进口设备的50%，可完全替代进口设备。2013年，实现产值1.2亿元，营业收入8730万元。
3、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称沈阳科仪公司）是一家以超高真空技术为核心，以研制生产薄膜新材料制备、微米及纳米材料制备、真空获得、真空冶金设备以及高档真空器件为主，集研发、生产、销售、服务为一体的高新技术企业。通过承担“干泵与系列真空阀门产品开发与产业化”重大专项等科研任务，沈阳科仪公司目前已完成具有完全自主知识产权9种干泵、3种真空阀门产品（涵盖普通、中度腐蚀、高度腐蚀工艺环境），太阳能光伏平板式PECVD设备（太阳能电池生产线上最核心、最昂贵的设备之一），蓝宝石晶体生长炉，电子束蒸发镀膜设备等国际先进水平产品的研制开发，并实现了相关产品在国内半导体生产线上的应用推广，迫使国外同类产品普遍降价30-40%销售。公司产品将从有到全、从全到精，完成螺杆干式真空泵、爪型泵、太阳能电池双面减反射膜制备设备、85-120公斤级蓝宝石单晶炉及配套工艺、碳化硅单晶炉及配套工艺等新产品及新工艺的开发及产业化。2013年公司实现销售收入1.7亿元，营业收入1.13亿元。
4、沈阳新松机器人自动化股份有限公司是专门从事机器人及自动化成套装备研究开发及产业化的公司，在我国的机器人行业为位居第一。承担了国家重大专项“IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发及产业化”，在真空机械手本体优化设计、SCARA型直驱真空机械手及EFEM方案设计、直驱型真空机械手平稳控制、真空及大气碰撞检测及保护等关键技术实现重大突破；完成了对称连杆型、单侧连杆型、同轴驱动型、1-3轴SCARA型等8种真空机械手系列产品和末端可侧翻型等10种大气机械手系列产品的开发，综合技术指标已达到国际同类产品的水平；产品已经在国内多个IC装备整机生产厂实现应用。2013年销售洁净（真空）机械手及自动化装备220余台套，实现销售收入1.1亿元。
5、沈阳富创精密设备有限公司是一家专业从事半导体设备、光伏设备精密零件加工制造的科技企业。公司致力于半导体、光伏精密零部件及备件的研发、制造、销售和服务，是国内精密零部件制造的领先企业。公司承担了02重大专项中唯一的平台类项目，是为国家IC装备产业提供零部件支撑服务的公共技术服务平台。目前，已成功为上海微电子（光刻机）、北京七星华创（扩散炉），沈阳芯源（匀胶显影设备），沈阳科仪（罗茨泵）以及美国Transmill公司（光伏设备研发）等IC装备企业的提供了精密零部件配套服务，并成为世界第一、第二大半导体设备商的全球战略合作伙伴。2013年实现产值4600万元，营业收入3700万元。
6、沈阳中科博微自动化技术有限公司是一家主要面向半导体设备制造商，提供灵活可靠的设备自控系统解决方案及定制设计、开发、维护和翻新服务的高新技术企业，拥有集束式IC装备控制系统平台软件和集成电路生产线自动化监控软件等系列产品。先后承担了多项02专项课题，其中“集束式控制平台与软件”已顺利通过验收；2011年启动的集成电路生产线自动化监控软件课题的部分成果已应用于华润上华、通富微电等国内大型集成电路和封装测试企业；自主研发的符合SEMI标准的控制系统平台软件已成功应用于沈阳拓荆的12寸PECVD设备、沈阳芯源的匀胶显影设备以及新松机器人的晶圆传输系统。未来中科博微将在完善现有软件产品的基础之上，开发满足IC装备数据采集、控制和通信需求的高可靠、低成本的测控单元等核心部件产品，形成更为全面、完整的IC装备自动化控制解决方案。2013年，实现产值9000万元，营业收入6545万元。