arf浸没式光刻机售价
鲁达
发布于 2023-07-07
大约6亿元左右。浸入式DUV光刻机是目前使用最广泛的光刻机，因为采用193纳米的ArF光源，通常将浸入式光刻机称作Arf浸没式光刻机。DUV光刻机的市场最高售价则是在6亿左右，比euv光刻机便宜了40%。虽然同样是arf浸没式光刻机…
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